419 - Лаборатория технологии микро- и наноэлектроники

Преподаватели

Сушенцов Николай Иванович

Филимонов Виталий Евгеньевич

Оборудование

Установки для получения высокого вакуума, терморезистивного и магнетронного напыления тонких пленок

Автоматизированная установка магнетронного распыления для получения наноструктурированных пленок

Научное направление: Вакуумные методы получения тонких пленок